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#WEITERLEITUNG [[Diffraktometrie unter streifendem Einfall]]
Die '''Röntgendiffraktometrie mit streifendem Einfall''' ({{EnS|grazing incidence X-ray diffraction}}, GIXRD, manchmal auch nur GID für {{lang|en|grazing incidence diffraction}}) ist ein spezielles Messverfahren der [[Röntgendiffraktometrie]], die auf der [[Röntgenbeugung]] basiert.
== Beschreibung ==
[[Datei:Grazing incidence diffraction GIXD.png|mini|Geometrie: Der Winkel α ist nahe dem kritischen Winkel]]
Es zeichnet sich durch einen besonders flachen Einfallswinkel der [[Röntgenstrahlung]] auf die Probe aus (α < 3°; gesehen von der Oberfläche der Probe). Ziel ist es, auf diese Weise die Probe mit möglichst kleiner Eindringtiefe zu untersuchen, um Messdaten über [[Dünnschicht]]en ohne großen [[Untergrund (Physik)|Untergrund]] zu erhalten. Beim herkömmlichen Theta/2-Theta-Verfahren erhält man wegen der Eindringtiefe der Röntgenstrahlung Informationen von bis zu einem Millimeter der Probe, also zum großen Teil die Eigenschaften des darunterliegenden [[Substrat (Materialwissenschaft)|Substrats]]. Durch den sehr flachen Einfallswinkel der Röntgenstrahlung bei GIXRD verringert sich das von der Röntgenstrahlung erfasste Schichtvolumen. Die [[Evaneszenz|evaneszente Welle]] dringt nur schwach in das Material ein. Für noch kleinere Winkel (0–0,6 Grad) lässt sich sogar die Oberfläche der Dünnschicht untersuchen.
Das Verfahren kann auch für [[SAXS|Kleinwinkel-Röntgenstreuung]] im sog. [[GISAXS]] verwendet werden. Damit können Oberflächenstrukturen auf dickeren (undurchlässigen) Proben untersucht werden, wenn der Beugungswinkel größer als der gewählte Einfallswinkel ist.
== Literatur ==
*{{Literatur|Autor=Mario Birkholz, Paul F. Fewster, Christoph Genzel|Titel=Thin film analysis by X-ray scattering|Verlag=Wiley-VCH|ISBN=3527310525|Jahr=2006|Online={{Google Buch|BuchID=w8wqRH_FDaMC|Seite=148}}|Seiten=148ff}}
== Weblinks ==
*[http://www.handmanalytical.com/pdfs/grazing_incidence.pdf Grazing Incidence Angle Thin Film Analysis] (engl.)
{{SORTIERUNG:Rontgendiffraktometrie mit streifendem Einfall}}