Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik: Unterschied zwischen den Versionen

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Das '''Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik''' (IOF), auch in der Kurzbezeichnung „Fraunhofer IOF“ genannt, ist eine Einrichtung der [[Fraunhofer-Gesellschaft]] zur Förderung der angewandten Forschung e.V. (FhG). Das Institut hat seinen Sitz in [[Jena]]. Seine Aktivitäten sind der [[Angewandte Forschung|angewandten Forschung]] und [[Forschung und Entwicklung|Entwicklung]] im Fach [[Naturwissenschaft]]en auf dem Gebiet der [[Optik]] und [[Feinmechanik]] zuzuordnen. Das Institut wurde 1992 gegründet.
Das '''Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik''' (Fraunhofer IOF) ist eine Einrichtung der [[Fraunhofer-Gesellschaft]]. Das Institut hat seinen Sitz in [[Jena]], Thüringen. Seine Aktivitäten sind der [[Angewandte Forschung|angewandten Forschung]] und [[Forschung und Entwicklung|Entwicklung]] im Fach [[Naturwissenschaft]]en auf dem Gebiet der [[Optik]] und [[Feinmechanik]] zuzuordnen. Das Institut wurde 1992 gegründet.


== Forschung und Entwicklung ==
== Forschung und Entwicklung ==
Aufbauend auf den traditionellen Erfahrungen der Jenaer Region auf dem Gebiet der Oberflächen- und Dünnschichttechnologien für die Optik betreibt das Fraunhofer IOF Forschung und Entwicklung im Bereich der optischen Systemtechnik mit dem Ziel der immer besseren Kontrolle von Licht – von der Erzeugung über die Führung und Manipulation bis zur Anwendung. Hervorzuheben ist die Kombination von Kompetenzen auf den Gebieten Optik und Präzisionsmechanik.
Das Fraunhofer IOF betreibt Forschung und Entwicklung im Bereich der optischen Systemtechnik mit dem Ziel der besseren Kontrolle von Licht – von der Erzeugung über die Führung und Manipulation bis zur Anwendung. Hervorzuheben ist die Kombination von Kompetenzen auf den Gebieten Optik und Präzisionsmechanik.


Die Schwerpunkte gehen auch aus der Abteilungsstruktur hervor:
Die Schwerpunkte gehen auch aus der Abteilungsstruktur hervor:
* Optische Schichten
* Optisches und mechanisches Design
* Optische Systeme, Optische Messtechnik
* Mikro- und nanostrukturierte Optik
* Mikrooptische Systeme
* Opto-mechatronische Komponenten und Systeme
* Feinwerktechnik
* Präzisionsoptische Komponenten und Systeme
* Funktionelle Oberflächen und Schichten
* Laser- und Fasertechnologie
* Bildgebung und Sensorik
* Zukunftstechnologien


* Siehe auch: [[Dünnschichttechnologie]], [[Oberflächenphysik]], [[Mikrostrukturtechnik]], [[Nanotechnologie]], [[Mikrooptik]], [[Messtechnik]]
* Siehe auch: [[Dünnschichttechnologie]], [[Oberflächenphysik]], [[Mikrostrukturtechnik]], [[Nanotechnologie]], [[Mikrooptik]], [[Messtechnik]], [[Laser]], [[Quantentechnologie]]


== CMN-Optics ==
== CMN-Optics ==
Im Juli 2006 wurde im Fraunhofer IOF das ''Center for Advanced Micro- and Nano-Optics'' (CMN-Optics) eröffnet. Herzstück der Einrichtung ist die [[Elektronenstrahl-Lithografie]]-Anlage SB350-OS. Diese Anlage, auch „[[Elektronenstrahlschreiber]]“ genannt, ermöglicht minimale [[Strukturgröße]]n im Bereich von 50&nbsp;nm bei hoher Überdeckungsgenauigkeit auf Substratgrößen bis zu 300&nbsp;mm. Das Zentrum wird gemeinsam mit dem ''Institut für Angewandte Physik'' (IAP) der [[Friedrich-Schiller-Universität Jena]] betrieben, genutzt wird die Anlage auch vom [[Institut für Photonische Technologien]] (IPHT), Jena. Die Anlage kostete zwölf Millionen Euro und wurde aus Mitteln der Europäischen Union, des Freistaats Thüringen und der Fraunhofer-Gesellschaft finanziert.
Im Juli 2006 wurde im Fraunhofer IOF das ''Center for Advanced Micro- and Nano-Optics'' (CMN-Optics) eröffnet. Herzstück der Einrichtung ist die [[Elektronenstrahl-Lithografie]]-Anlage SB350-OS. Diese Anlage, auch „[[Elektronenstrahlschreiber]]“ genannt, ermöglicht [[Strukturgröße]]n im Bereich von 50&nbsp;nm auf Substratgrößen bis zu 300&nbsp;mm. Das Zentrum wird gemeinsam mit dem ''Institut für Angewandte Physik'' (IAP) der [[Friedrich-Schiller-Universität Jena]] betrieben, genutzt wird die Anlage auch vom [[Institut für Photonische Technologien]] (IPHT), Jena. Die Anlage kostete zwölf Millionen Euro und wurde aus Mitteln der Europäischen Union, des Freistaats Thüringen und der Fraunhofer-Gesellschaft finanziert.


== Kooperationen ==
== Kooperationen ==
Im Jahr 2003 hat die Fraunhofer-Gesellschaft einen Kooperationsvertrag mit der Friedrich-Schiller-Universität Jena abgeschlossen. Er ist Basis für die Zusammenarbeit zwischen den Mitarbeitern des Fraunhofer IOF und den Mitarbeitern des ''Instituts für Angewandte Physik'' der Universität Jena. Mit der Kooperation soll eine praxisnahe Ausbildung der Studenten, eine bessere Umsetzung von Forschungsergebnissen in die Praxis und die gemeinsame Nutzung der hochwertigen Geräteausstattung und Infrastrukturen beider Einrichtungen erreicht werden.
Im Jahr 2003 hat die Fraunhofer-Gesellschaft einen Kooperationsvertrag mit der Friedrich-Schiller-Universität Jena abgeschlossen. Er ist Basis für die Zusammenarbeit zwischen den Mitarbeitern des Fraunhofer IOF und den Mitarbeitern des ''Instituts für Angewandte Physik'' der Universität Jena. Mit der Kooperation soll eine praxisnahe Ausbildung der Studenten, eine bessere Umsetzung von Forschungsergebnissen in die Praxis und die gemeinsame Nutzung der hochwertigen Geräteausstattung und Infrastrukturen beider Einrichtungen erreicht werden.
Das Institut ist Mitglied des [[Fraunhofer Geschäftsbereich Vision|Fraunhofer Geschäftsbereichs Vision]], ein Zusammenschluss von Einrichtungen der Fraunhofer-Gesellschaft zum Thema [[Bildverarbeitung]] und [[maschinelles Sehen]].<ref>{{Internetquelle |url=https://www.vision.fraunhofer.de/de/vision/institute.html |titel=Fraunhofer Vision-Institute |abruf=2019-08-13 |sprache=de}}</ref> Darüber hinaus ist es Mitglied der Fraunhofer-Allianz Space, bei der angewandte Forschung für den Weltraum betrieben wird,<ref>{{Internetquelle |url=https://www.space.fraunhofer.de/de/institute.html |titel=Fraunhofer Space-Institute |abruf=2020-07-08 |sprache=de}}</ref> und der Fraunhofer-Allianz Verkehr, bei der verkehrsrelevante Forschung im Fokus steht.<ref>{{Internetquelle |url=https://www.verkehr.fraunhofer.de/de/profil/Mitglieder.html |titel=Fraunhofer Verkehr-Institute |abruf=2021-06-04 |sprache=de}}</ref>


== Infrastruktur ==
== Infrastruktur ==
[[Datei:JenaIOF02.JPG|mini|Moderner Erweiterungsbau des IOF]]
[[Datei:JenaIOF02.JPG|mini|Moderner Erweiterungsbau des IOF]]
[[File:Meridiankreis-Instrument.JPG|thumb|Feinmechanik aus dem 19. Jahrhundert: Meridiankreisinstrument im Foyer des Instituts]]
[[Datei:Meridiankreis-Instrument.JPG|mini|Feinmechanik aus dem 19. Jahrhundert: Meridiankreisinstrument im Foyer des Instituts]]
Ende 2006 waren am Fraunhofer IOF 151 Mitarbeiter beschäftigt, der überwiegende Teil davon sind Wissenschaftler und Techniker.
Ende 2020 waren am Fraunhofer IOF ca. 330 Mitarbeiter beschäftigt, der überwiegende Teil davon sind Wissenschaftler und Techniker.<ref name=":0">{{Internetquelle |autor=Fraunhofer IOF |url=https://www.iof.fraunhofer.de/content/dam/iof/de/documents/Publikationen/Jahresbericht/2020/fraunhofer-iof-jahresbericht-2020.pdf |titel=Jahresbericht 2020 |werk= |hrsg=Fraunhofer IOF |datum=2020 |seiten=118–119 |sprache=deu / eng |abruf=2021-06-07}}</ref>


Der Betriebshaushalt des Fraunhofer IOF lag im Geschäftsjahr 2006 bei 10,6&nbsp;Millionen Euro. Diese kamen zu etwa 12 % aus der Grundfinanzierung, welche zu 90 % aus Bundesmitteln und zu 10 % aus Landesmitteln finanziert wird. Rund 56 % des Betriebshaushalts waren Erträge aus der Auftragsforschung der Wirtschaft.
Der Betriebshaushalt des Fraunhofer IOF lag im Geschäftsjahr 2020 bei 51,5&nbsp;Millionen Euro.<ref name=":0" />


Das Fraunhofer IOF wird seit 2003 von [[Andreas Tünnermann]] geleitet, der auch Direktor des ''Instituts für Angewandte Physik'' der [[Friedrich-Schiller-Universität Jena]] ist.
Das Institut wird seit 2003 von [[Andreas Tünnermann]] geleitet, der auch Direktor des ''Instituts für Angewandte Physik'' der [[Friedrich-Schiller-Universität Jena]] ist.


Das Institut verfügt über exzellent ausgestattete Labore auf einer Fläche von 2550 . Darin eingeschlossen sind 860 m² Reinraum der Klasse 10000 bis 10 sowie eine höchsten Ansprüchen genügende Mechanik-Werkstatt.
Das Institut verfügt über Labore auf einer Fläche von 3830 zuzüglich 1115 m² Reinraum (ISO Klasse 1 – ISO Klasse 7), eine Mechanik-Werkstatt sowie ein Versuchsfeld für Test- und Demonstrationszwecke.


In den Jahren 2002 und 2013 wurden auf dem [[Beutenberg Campus]] in Jena jeweils Erweiterungsbauten für das Fraunhofer IOF errichtet.<ref>''Das Glas der Weisen'' in [[FAZ]] vom 13. Juli 2013, Seite 38</ref>
In den Jahren 2002 und 2013 wurden auf dem [[Beutenberg Campus]] in Jena jeweils Erweiterungsbauten errichtet.<ref>''Das Glas der Weisen'' in [[FAZ]] vom 13. Juli 2013, Seite 38</ref>


2017 wurde ein Fasertechnologiezentrum am Fraunhofer IOF eingeweiht, zu dem neue Speziallabore zur Fertigung von aktiven und passiven mirko- und nanostrukturierten optischen Fasern und einer der weltweit leistungsfähigsten Faserziehtürme gehört.<ref>{{Internetquelle|url=https://www.iof.fraunhofer.de/de/presse-medien/pressemitteilungen/2017/25-Jahre-Fraunhofer-IOF.html|titel=Pressemitteilung: 25 Jahre Fraunhofer IOF: Neues Fasertechnologiezentrum eröffnet|autor=|hrsg=Fraunhofer IOF|werk=|datum=3. Juli 2017|sprache=|zugriff=24. August 2017}}</ref>
2017 wurde ein Fasertechnologiezentrum am Fraunhofer IOF eingeweiht, zu dem neue Labore zur Fertigung von aktiven und passiven mikro- und nanostrukturierten optischen Fasern und ein Faserziehturm gehört.<ref>{{Internetquelle|url=https://www.iof.fraunhofer.de/de/presse-medien/pressemitteilungen/2017/25-Jahre-Fraunhofer-IOF.html|titel=Pressemitteilung: 25 Jahre Fraunhofer IOF: Neues Fasertechnologiezentrum eröffnet|autor=|hrsg=Fraunhofer IOF|werk=|datum=3. Juli 2017|sprache=|abruf=24. August 2017}}</ref>


== Auszeichnungen ==
== Auszeichnungen ==
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* [[Deutscher Zukunftspreis]] 2013
* [[Deutscher Zukunftspreis]] 2013
:Stefan Nolte vom Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik (IOF) und [[Friedrich-Schiller-Universität Jena]] erhielt zusammen mit Jens König ([[Robert Bosch (Unternehmen)|Robert Bosch GmbH]]) und Dirk Sutter ([[Trumpf Laser]]) am 4. Dezember 2013 den Preis für ihre Arbeiten mit Ultrakurzpulslasern.<ref>[http://www.wiwo.de/technologie/forschung/deutscher-zukunftspreis-2013-gewinner-haben-neues-laser-werkzeug-erfunden-/8879574.html Deutscher Zukunftspreis 2013 – Gewinner haben neues Laser-Werkzeug erfunden (Wirtschaftswoche, 4. Dezember 2013)]</ref><ref>{{Internetquelle|url=http://www.fraunhofer.de/de/presse/presseinformationen/2013/dezember/deutscher-zukunftspreis-2013.html|titelerg=Deutscher Zukunftspreis 2013|titel=Kontrolliert verdampft|datum=2013-12-04|hrsg=Fraunhofer-Gesellschaft (Pressemitteilung)|zugriff=2014-06-06 }}</ref>
:Stefan Nolte (Fraunhofer IOF und [[Friedrich-Schiller-Universität Jena]]) erhielt zusammen mit Jens König ([[Robert Bosch (Unternehmen)|Robert Bosch GmbH]]) und Dirk Sutter ([[Trumpf Laser]]) am 4. Dezember 2013 den Preis für ihre Arbeiten mit Ultrakurzpulslasern.<ref>[http://www.wiwo.de/technologie/forschung/deutscher-zukunftspreis-2013-gewinner-haben-neues-laser-werkzeug-erfunden-/8879574.html Deutscher Zukunftspreis 2013 – Gewinner haben neues Laser-Werkzeug erfunden (Wirtschaftswoche, 4. Dezember 2013)]</ref><ref>{{Internetquelle|url=http://www.fraunhofer.de/de/presse/presseinformationen/2013/dezember/deutscher-zukunftspreis-2013.html|titelerg=Deutscher Zukunftspreis 2013|titel=Kontrolliert verdampft|datum=2013-12-04|hrsg=Fraunhofer-Gesellschaft (Pressemitteilung)|abruf=2014-06-06 }}</ref>
 
* [[Deutscher Zukunftspreis]] 2020
:Für ihr Projekt »EUV-Lithographie – Neues Licht für das digitale Zeitalter« wurde das Experten-Team um Sergiy Yulin (Fraunhofer IOF), Peter Kürz (ZEISS Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT)), und Michael Kösters (TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing) mit dem Preis für Technik und Innovation ausgezeichnet.<ref>{{Internetquelle|url=https://www.fraunhofer.de/de/presse/presseinformationen/2020/november/forscher-team-von-zeiss-trumpf-und-fraunhofer-fuer-die-entwicklung-der-euv-lithographie-mit-dem-deutschen-zukunftspreis-2020-ausgezeichnet.html|titelerg=Deutscher Zukunftspreis 2020|titel=Forscher-Team von ZEISS, TRUMPF und Fraunhofer für die Entwicklung der EUV-Lithographie ausgezeichnet |datum=2020-11-25|hrsg=Fraunhofer-Gesellschaft (Pressemitteilung)|abruf=2021-06-04 }}</ref>


== Weblinks ==
== Weblinks ==
* [http://www.iof.fraunhofer.de/ Website des Fraunhofer-Instituts für Angewandte Optik und Feinmechanik] (IOF)
* [http://www.iof.fraunhofer.de/ Offizielle Website]


== Einzelnachweise ==
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Aktuelle Version vom 22. Juni 2021, 10:42 Uhr

Fraunhofer-Institut für
Angewandte Optik und Feinmechanik
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik
Kategorie: Forschungseinrichtung
Träger: Fraunhofer-Gesellschaft
Rechtsform des Trägers: Eingetragener Verein
Sitz des Trägers: München
Standort der Einrichtung: Jena
Art der Forschung: Angewandte Forschung
Fächer: Naturwissenschaften, Ingenieurwissenschaften
Fachgebiete: Optik, Feinmechanik
Grundfinanzierung: Bund (90 %), Länder (10 %)
Leitung: Andreas Tünnermann[1]
Mitarbeiter: ca. 300
Homepage: www.iof.fraunhofer.de

Das Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik (Fraunhofer IOF) ist eine Einrichtung der Fraunhofer-Gesellschaft. Das Institut hat seinen Sitz in Jena, Thüringen. Seine Aktivitäten sind der angewandten Forschung und Entwicklung im Fach Naturwissenschaften auf dem Gebiet der Optik und Feinmechanik zuzuordnen. Das Institut wurde 1992 gegründet.

Forschung und Entwicklung

Das Fraunhofer IOF betreibt Forschung und Entwicklung im Bereich der optischen Systemtechnik mit dem Ziel der besseren Kontrolle von Licht – von der Erzeugung über die Führung und Manipulation bis zur Anwendung. Hervorzuheben ist die Kombination von Kompetenzen auf den Gebieten Optik und Präzisionsmechanik.

Die Schwerpunkte gehen auch aus der Abteilungsstruktur hervor:

  • Optisches und mechanisches Design
  • Mikro- und nanostrukturierte Optik
  • Opto-mechatronische Komponenten und Systeme
  • Präzisionsoptische Komponenten und Systeme
  • Funktionelle Oberflächen und Schichten
  • Laser- und Fasertechnologie
  • Bildgebung und Sensorik
  • Zukunftstechnologien
  • Siehe auch: Dünnschichttechnologie, Oberflächenphysik, Mikrostrukturtechnik, Nanotechnologie, Mikrooptik, Messtechnik, Laser, Quantentechnologie

CMN-Optics

Im Juli 2006 wurde im Fraunhofer IOF das Center for Advanced Micro- and Nano-Optics (CMN-Optics) eröffnet. Herzstück der Einrichtung ist die Elektronenstrahl-Lithografie-Anlage SB350-OS. Diese Anlage, auch „Elektronenstrahlschreiber“ genannt, ermöglicht Strukturgrößen im Bereich von 50 nm auf Substratgrößen bis zu 300 mm. Das Zentrum wird gemeinsam mit dem Institut für Angewandte Physik (IAP) der Friedrich-Schiller-Universität Jena betrieben, genutzt wird die Anlage auch vom Institut für Photonische Technologien (IPHT), Jena. Die Anlage kostete zwölf Millionen Euro und wurde aus Mitteln der Europäischen Union, des Freistaats Thüringen und der Fraunhofer-Gesellschaft finanziert.

Kooperationen

Im Jahr 2003 hat die Fraunhofer-Gesellschaft einen Kooperationsvertrag mit der Friedrich-Schiller-Universität Jena abgeschlossen. Er ist Basis für die Zusammenarbeit zwischen den Mitarbeitern des Fraunhofer IOF und den Mitarbeitern des Instituts für Angewandte Physik der Universität Jena. Mit der Kooperation soll eine praxisnahe Ausbildung der Studenten, eine bessere Umsetzung von Forschungsergebnissen in die Praxis und die gemeinsame Nutzung der hochwertigen Geräteausstattung und Infrastrukturen beider Einrichtungen erreicht werden.

Das Institut ist Mitglied des Fraunhofer Geschäftsbereichs Vision, ein Zusammenschluss von Einrichtungen der Fraunhofer-Gesellschaft zum Thema Bildverarbeitung und maschinelles Sehen.[2] Darüber hinaus ist es Mitglied der Fraunhofer-Allianz Space, bei der angewandte Forschung für den Weltraum betrieben wird,[3] und der Fraunhofer-Allianz Verkehr, bei der verkehrsrelevante Forschung im Fokus steht.[4]

Infrastruktur

Moderner Erweiterungsbau des IOF
Feinmechanik aus dem 19. Jahrhundert: Meridiankreisinstrument im Foyer des Instituts

Ende 2020 waren am Fraunhofer IOF ca. 330 Mitarbeiter beschäftigt, der überwiegende Teil davon sind Wissenschaftler und Techniker.[5]

Der Betriebshaushalt des Fraunhofer IOF lag im Geschäftsjahr 2020 bei 51,5 Millionen Euro.[5]

Das Institut wird seit 2003 von Andreas Tünnermann geleitet, der auch Direktor des Instituts für Angewandte Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena ist.

Das Institut verfügt über Labore auf einer Fläche von 3830 m² zuzüglich 1115 m² Reinraum (ISO Klasse 1 – ISO Klasse 7), eine Mechanik-Werkstatt sowie ein Versuchsfeld für Test- und Demonstrationszwecke.

In den Jahren 2002 und 2013 wurden auf dem Beutenberg Campus in Jena jeweils Erweiterungsbauten errichtet.[6]

2017 wurde ein Fasertechnologiezentrum am Fraunhofer IOF eingeweiht, zu dem neue Labore zur Fertigung von aktiven und passiven mikro- und nanostrukturierten optischen Fasern und ein Faserziehturm gehört.[7]

Auszeichnungen

  • Deutscher Zukunftspreis 2007
Gemeinsam mit dem Halbleiter-Hersteller-Unternehmen Osram Opto Semiconductors aus Regensburg haben Forscher des Jenaer Fraunhofer-Instituts, geleitet von Andreas Bräuer, am 6. Dezember 2007 den mit 250.000 Euro dotierten Deutschen Zukunftspreis erhalten. Ihre Innovation bestand aus verbesserten Chips, einem Gehäuse und einer Spezialoptik, die leistungsstärkere Leuchtdioden ermöglichen.[8]
  • Deutscher Zukunftspreis 2013
Stefan Nolte (Fraunhofer IOF und Friedrich-Schiller-Universität Jena) erhielt zusammen mit Jens König (Robert Bosch GmbH) und Dirk Sutter (Trumpf Laser) am 4. Dezember 2013 den Preis für ihre Arbeiten mit Ultrakurzpulslasern.[9][10]
  • Deutscher Zukunftspreis 2020
Für ihr Projekt »EUV-Lithographie – Neues Licht für das digitale Zeitalter« wurde das Experten-Team um Sergiy Yulin (Fraunhofer IOF), Peter Kürz (ZEISS Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT)), und Michael Kösters (TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing) mit dem Preis für Technik und Innovation ausgezeichnet.[11]

Weblinks

Einzelnachweise

  1. https://www3.uni-jena.de/Forschung/Partner/Fraunhofer_Institut+f%C3%BCr+angewandte+Optik+und+Feinmechanik+(IOF)-p-1035.html
  2. Fraunhofer Vision-Institute. Abgerufen am 13. August 2019.
  3. Fraunhofer Space-Institute. Abgerufen am 8. Juli 2020.
  4. Fraunhofer Verkehr-Institute. Abgerufen am 4. Juni 2021.
  5. 5,0 5,1 Fraunhofer IOF: Jahresbericht 2020. Fraunhofer IOF, 2020, S. 118–119, abgerufen am 7. Juni 2021 (Lua-Fehler in Modul:Multilingual, Zeile 149: attempt to index field 'data' (a nil value)).
  6. Das Glas der Weisen in FAZ vom 13. Juli 2013, Seite 38
  7. Pressemitteilung: 25 Jahre Fraunhofer IOF: Neues Fasertechnologiezentrum eröffnet. Fraunhofer IOF, 3. Juli 2017, abgerufen am 24. August 2017.
  8. Zukunftspreis für Forscher aus Jena und Regensburg (heise news, 7. Dezember 2007)
  9. Deutscher Zukunftspreis 2013 – Gewinner haben neues Laser-Werkzeug erfunden (Wirtschaftswoche, 4. Dezember 2013)
  10. Kontrolliert verdampft. Deutscher Zukunftspreis 2013. Fraunhofer-Gesellschaft (Pressemitteilung), 4. Dezember 2013, abgerufen am 6. Juni 2014.
  11. Forscher-Team von ZEISS, TRUMPF und Fraunhofer für die Entwicklung der EUV-Lithographie ausgezeichnet. Deutscher Zukunftspreis 2020. Fraunhofer-Gesellschaft (Pressemitteilung), 25. November 2020, abgerufen am 4. Juni 2021.

Koordinaten: 50° 54′ 30,5″ N, 11° 34′ 4,2″ O

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