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Beschreibung
BeschreibungRBS-Spektrum mit Schichtaufbau.png
Deutsch: Simuliertes RBS-Spektrum eines Siliziumsubstrats mit jeweils 5nm dicken Schichten Titan, Kupfer, Silber und Gold, bestrahlt mit He+-Ionen der Energie 2,0MeV
Datum
05.02.2013
Quelle
Thomas Metzenrath: Lichtbogenverdampfung: Bestimmung der Abscheideraten verschiedener Metalle. Bachelorarbeit, Universität Augsburg, 2013.
Die Abbildung zeigt ein mit XRUMP simuliertes RBS-Spektrum. Der Detektor besitzt 1024 Kanäle. In rot eingezeichnet: die ideale Position des jeweiligen Elements, falls es direkt an der Oberfläche liegt. Mit steigender Ordnungszahl von links nach rechts liegt Silizium bei Kanalnummer 568, Titan bei 726, Kupfer bei 790, Silber bei 878 und Gold bei 941. Gut zu erkennen, dass die Peaks der tiefer liegenden Schichten weiter links liegen, da die Projektile auf Grund der größeren Eindringtiefe mit einer geringeren Energie rückgestreut werden. Der Abstand der Peaks Ti-Cu und Ag-Au ist in etwa vergleichbar, jedoch liegen zwischen Ti und Cu nur 7 Ordnungszahlen, während zwischen Ag und Au 32 Ordnungszahlen liegen, was für eine bessere Massenauflösung bei leichteren Elementen spricht. Außerdem gut zu erkennen, dass bei gleicher Schichtdicke die Ausbeute mit ansteigt, was für eine höhere Sensitivität bei schwereren Elementen spricht.
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Kurzbeschreibungen
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